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EJA硅膜片諧振式差壓變送器工作原理簡介

發布時間:2019-08-28   點擊次數:312次
EJA硅膜片諧振式差壓變送器工作原理簡介 硅膜片諧振式差壓變送器工作原理簡介            位于高壓端和低壓端的金屬膜片受到過程壓力,通過密封液分別傳送到單晶硅片的上下兩面。在單晶硅片中,有2個振子腔體,2個振子的固有頻率之差就是差壓信號。

真空腔體中的振子是經過精細加工的(H型諧振梁的長約700μm,寬約25μm,厚約5μm)。由于振子H型諧振梁的4端與單晶硅連接,所以當單晶硅變形時,振子振動頻率與壓力差成正比例,固有振動頻率發生變化。

通過永磁體給振子一個磁場,振子的半片和剩余的半片構成一個勵磁電路,測量出該電路的固有頻率,將該固有頻率與另一個振子的固有頻率之差轉換成差壓信號。將差壓信號轉換成4-20mA、脈沖或數字信號輸出。

EJA變送器的原理圖


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